SemiUnion 7月27日，芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開工儀式舉行。

據(jù)沈陽芯源公司官微指出，芯源微高端晶圓處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目總投資5.28億元，將分2期建設(shè)，其中一期投資2.38億元。項(xiàng)目總用地面積45576.95平方米，總建筑面積76728.84平方米，一期建筑面積47012.17平方米。項(xiàng)目主要用于生產(chǎn)高端晶圓處理設(shè)備，包括前道涂膠/顯影機(jī)及前道單片式清洗機(jī)等，擁有廣闊的市場(chǎng)前景。項(xiàng)目將打造東北地區(qū)頂級(jí)的半導(dǎo)體專用設(shè)備研發(fā)與生產(chǎn)基地，全部達(dá)產(chǎn)后將帶動(dòng)就業(yè)2000人。

資料顯示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)，目前主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），產(chǎn)品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環(huán)節(jié)）及8/12英寸單晶圓處理（如集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）。

2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創(chuàng)板上市，成為了遼寧省科創(chuàng)板“第一股”和中科院第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)。

據(jù)介紹，芯源微生產(chǎn)的涂膠顯影設(shè)備產(chǎn)品成功打破國外廠商壟斷并填補(bǔ)國內(nèi)空白，其中，在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，芯源微作為國內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；在集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)，芯源微已成功突破前道涂膠顯影設(shè)備關(guān)鍵技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長(zhǎng)江存儲(chǔ)、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證與改進(jìn)。

芯源微客戶名單可謂“大咖”云集，包括臺(tái)積電、長(zhǎng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、株洲中車、青島芯恩、上海積塔、寧波中芯、廈門士蘭、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等一線大企業(yè)。

沈陽市委常委、副市長(zhǎng)李松林聲稱，芯源微項(xiàng)目的開工對(duì)于沈陽市調(diào)整、完善產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)具有重大意義。盡管芯源微項(xiàng)目投資僅5億元，但電子信息產(chǎn)業(yè)前途無量，這對(duì)于沈陽未來產(chǎn)業(yè)的全面提升和發(fā)展至關(guān)重要。

封面圖片來源：沈陽芯源公司