9月29日，深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司（以下簡稱“捷佳偉創(chuàng)”）發(fā)布公告稱，擬向不超過35名（含）符合中國證監(jiān)會規(guī)定條件的特定投資者發(fā)行股票。

公告顯示，捷佳偉創(chuàng)本次向特定對象發(fā)行募集資金總額不超過250,315.09萬元（含本數(shù)），扣除發(fā)行費用后擬將全部用于超高效太陽能電池裝備產(chǎn)業(yè)化項目、泛半導體裝備產(chǎn)業(yè)化項目（超高效太陽能電池濕法設(shè)備及單層載板式非晶半導體薄膜CVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項目）、二合一透明導電膜設(shè)備（PAR）產(chǎn)業(yè)化項目、先進半導體裝備（半導體清洗設(shè)備及爐管類設(shè)備）研發(fā)項目、以及補充流動資金項目。

其中，先進半導體裝備（半導體清洗設(shè)備及爐管類設(shè)備）研發(fā)項目計劃投資6.46億元，擬在深圳市坪山區(qū)實施Cassette-Less刻蝕設(shè)備和單晶圓清洗設(shè)備技術(shù)的改進與研發(fā)，立式爐管長壓化學氣相沉積設(shè)備、立式爐管低壓化學氣相沉積設(shè)備、立式爐管低壓原子氣相沉積設(shè)備以及立式爐管HK ALO/HFO2工藝設(shè)備技術(shù)的改進與研發(fā)。

通過該項目的建設(shè)，捷佳偉創(chuàng)將加大對國際先進工藝的研究、對半導體先進設(shè)備的測試、加快全覆蓋率的設(shè)備產(chǎn)出，實現(xiàn)技術(shù)與產(chǎn)業(yè)升級。

第一，改進半導體氣相沉積設(shè)備技術(shù)。公司將進一步加快28納米到0.35微米集成電路設(shè)備的驗證與產(chǎn)業(yè)化以及未來納米設(shè)備的核心技術(shù)研發(fā)，大大增強先進集成電路、先進封裝及第三代半導體工藝裝備競爭能力；同時也將提升先進精密模組及元器件的生產(chǎn)能力，自主研發(fā)立式氣相沉積設(shè)備。

第二，在濕法清洗設(shè)備領(lǐng)域，完成Cassette-less批次式清洗工藝設(shè)備、單晶圓腔體清洗設(shè)備、涂布顯影的單晶圓設(shè)備，長壓及低壓化學氣相沉積設(shè)備與低壓原子氣相沉積設(shè)備等世界領(lǐng)先技術(shù)的研發(fā)并投產(chǎn)，實現(xiàn)濕法清洗設(shè)備的規(guī)?；a(chǎn)，構(gòu)建層次豐富、產(chǎn)能高效的半導體濕法及氣相沉積設(shè)備供給線。

資料顯示，捷佳偉創(chuàng)是一家高速發(fā)展的新能源裝備研發(fā)制造企業(yè)，自設(shè)立以來，捷佳偉創(chuàng)已為全球200多家光伏電池生產(chǎn)企業(yè)，近1000條電池生產(chǎn)線提供設(shè)備和服務，其中各類工藝設(shè)備的市場占有率均超過50%，成為全球領(lǐng)先的晶體硅太陽能電池設(shè)備供應商。

2019年，為響應國家戰(zhàn)略規(guī)劃，捷佳偉創(chuàng)開始投身于國產(chǎn)集成電路工藝設(shè)備事業(yè)，并啟動了濕法工藝裝備研發(fā)。2020年，該公司再次成立獨立的半導體研發(fā)事業(yè)部，立足設(shè)備行業(yè)，切入半導體工藝設(shè)備，致力打造高端半導體設(shè)備，制造開發(fā)平臺，目前該公司已經(jīng)完成Dryer平臺的開發(fā)、部分槽體的開發(fā)和部分模組的開發(fā)，供應鏈的體系逐步開始建立。

捷佳偉創(chuàng)表示，先進半導體裝備研發(fā)項目將利用現(xiàn)有研發(fā)體系與資源，開展半導體刻蝕清洗設(shè)備、半導體晶圓涂布顯影設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等高端工藝設(shè)備研發(fā)創(chuàng)新, 從而擴展和建立半導體濕法和氣相沉積設(shè)備前后道工藝的產(chǎn)品線及工藝整合開發(fā)服務, 實現(xiàn)公司在半導體事業(yè)拓展的戰(zhàn)略規(guī)劃與產(chǎn)業(yè)布局。

封面圖片來源：拍信網(wǎng)